加速度傳感器是一種可以測量加速度的傳感器。它通常由質量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和自適應電路組成。在加速過程中,傳感器通過測量質量塊上的慣性力,利用牛頓第二定律得到加速度值。根據傳感器敏感元件的不同,常見的加速度傳感器有電容式、電感式、應變式、壓阻式、壓電式等。下面來簡單了解一下。
1、壓電式加速度傳感器
壓電式加速度傳感器也稱為壓電加速度計。它也是一種慣性傳感器。壓電加速度傳感器的原理是利用壓電陶瓷或石英晶體的壓電效應。當加速度計振動時,質量施加到壓電元件上的力也會發生變化。當測得的振動頻率遠低于加速度計的固有頻率時,力的變化與測得的加速度成正比。
2、壓阻式加速度傳感器
壓阻式加速度傳感器基于MEMS硅微加工技術,具有體積小、功耗低等特點,易于集成在各種模擬和數字電路中,廣泛應用于汽車碰撞實驗、測試儀器、設備振動監測等領域。
3、電容式
電容式加速度傳感器是一種基于電容原理的可變距的電容式傳感器。電容式加速度傳感器/電容式加速度計是一種比較通用的加速度傳感器。在某些領域沒有替代品,例如安全氣囊、手機和移動設備。電容式加速度計/電容式加速度計采用微機電系統(MEMS)工藝,在量產時變得經濟,從而確保更低的成本。
4、伺服式加速度傳感器
伺服式加速度傳感器為閉環測試系統,具有動態性能好、動態范圍大、線性度好的特點。其工作原理,傳感器的振動系統由“mk”系統組成,與一般的加速度計相同,只是質量m上有一個電磁線圈。當基座上有加速度輸入時,質量偏離平衡位置,位移的大小由位移傳感器檢測,經伺服放大器放大后轉換為電流輸出。電流流過電磁線圈,在永磁體的磁場中產生電磁恢復力,試圖使質量保持在儀器外殼中的原始平衡位置。所以伺服加速度傳感器工作在閉環狀態。
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