HPL 系列直線電機模組

? Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
? 定位精度達（直線誤差修正后）：±1µm（Travel≤200mm）
? 穩定且優良的軸系提供了平滑運動，經算法優化可以獲得小的動態跟隨誤差
? 線性表現優良的光柵反饋系統，可以獲得point-to-point位置精度

? 標準的模塊化設計，靈活的單軸/多軸解決方案
? 整體密封結構，輕量化、高剛性結構設計，低成本，高性能
HPL-170LM直線電機平臺采用無鐵芯直線電機驅動，平臺行程從100至600mm。該平臺擁有優良的設計，嚴苛的軸系裝配工藝，但成本低，這使得HPL-170LM直線電機平臺得以廣泛適用于需要成本效益、精密解決方案的工業應用，如半導體晶圓檢測、微電子組件測試、取放、DNA測序、激光加工等領域。