使用安全的LED光確保分辨率30μm下的高精度檢測
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※1 |
※1 | EMC適用 |
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特點
無需任何安全措施
使用安全的紅色LED作為光源,無需任何繁雜的安全措施。無需使用激光時的保護罩,在美國使用時不需要符合FDA標準。
施工簡便
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降至限度,維護輕松。 | |
低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現光電傳感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高性能,因此可實現高精度檢測。
無需光軸調整
投、受光部一體型,無需繁瑣的光軸調整。并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域,可對應各種不同尺寸的晶圓。
配備系數和偏移量調整功能
模擬輸出(1~5V)除了系數調整功能之外,還具備方便的偏移調整功能,可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。 | |
種類
檢測頭
形狀 | 檢測距離 | 檢測寬度 | 型號 |
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30mm(固定) (注1) | 30mm | HD-T1030 |
(注1): | 出廠時固定于安裝基座狀態下的值。 |
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控制器
檢測頭與控制器必須配套使用。
形狀 | 型號 | 輸出 |
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HD-T1C | 模擬電壓 ?輸出電壓:1~5V |
規格
檢測頭
型號 | HD-T1030 | |
適用控制器 | HD-T1C | |
檢測寬度 | 30mm(直線性按照28mm的寬度規定) | |
檢測距離 | 30mm(固定)(注2) | |
環 境 性 能 | 保護構造 | IP40(IEC) |
使用環境溫度 | 0~+40℃(注意不可結露),存儲時:-20~+55℃ | |
使用環境濕度 | 35~85%RH、存儲時:35~85%RH | |
使用環境照明度 | 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度3,000lx以下 | |
耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
絕緣電阻 | 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 | |
耐振動 | 頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時 | |
耐沖擊 | 加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次 | |
投光元件 | 紅色LED(投光波峰波長:650nm) | |
受光元件 | 光電二極管 | |
材質 | 本體外殼:PEI、前罩部:玻璃、安裝基座:鋁 | |
電纜 | 耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器 | |
重量 | 本體重量:約150g |
(注1): 無的測量條件為使用環境溫度+20℃。
(注2): 出廠時固定于安裝基座狀態下的值。
控制器
型號 | HD-T1C | |
適用檢測頭 | HD-T1030 | |
電源電壓 | 24V DC±10% 脈動P-P10%以下 | |
消耗電流 | 70mA以下(含檢測頭) | |
模擬輸出 | 模擬電壓 ?輸出電壓:1±0.5V(全遮光時)~5±0.5V(全入光時) ?輸出阻抗:75Ω | |
反應時間 | 0.5ms以下(8V/ms以上) | |
分辨率 | 30μm(注2) | |
直線性 | ±1.0%F.S.(檢測位置中心的檢測寬度28mm)(注3) | |
溫度特性 | ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3) | |
量程調整功能 | 裝備15圈無限制調節器,可調整模擬輸出電壓的量程 | |
轉移調整功能 | 裝備15圈無限制調節器,可調整模擬輸出電壓的偏置 | |
預熱時間 | 30分以上 | |
環 境 性 能 | 保護構造 | IP40(IEC) |
使用環境溫度 | 0~+40℃(注意不可結露),存儲時:-20~+70℃ | |
使用環境濕度 | 35~85%RH,存儲時:35~85%RH | |
耐電壓 | AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間 | |
絕緣電阻 | 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 | |
耐振動 | 頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時 | |
耐沖擊 | 頻率490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次 | |
材質 | 本體外殼:耐熱ABS,連接器外罩部:耐熱ABS,調節器外罩部:聚碳酸酯 | |
電纜 | 0.22mm2 3芯耐熱PVC電纜,長0.3m | |
電纜延長 | 0.3mm2以上的電纜全長可延長至3m | |
重量 | 本體重量:約85g |
(注1): 無的測量條件為使用環境溫度+20℃。
(注2): 分辨率為模擬輸出的峰值~峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。
(注3): 檢測頭和控制器組合后測定時的代表示例。
尺寸圖
- 單位mm
HD-T1030
檢測頭
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HD-T1C
控制器
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用途
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