COMET射頻發生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP
專為在動態負載下實現最高穩定性而設計。
cito Plus 提供脈沖質量、穩定性和功率測量精度,使其成為等離子體沉積和蝕刻應用以及非半導體應用的選擇。
正常運行時間長 - 專注于吞吐量和降低運營成本
精度、可重復性和穩定性的價值 - 滿足您的工藝要求
更高的電源效率 - 更好的經濟性和環保型
cito Plus系列特征
對稱開環響應
高精度功率控制
脈沖高達 100 kHz;
具有可變相位延遲的 CEX
CEX 輸出分頻器
符合 SEMI 標準
cito Plus系列好處
可預測的等離子體行為
輕松的系統集成
可重復的晶圓結果
在任何電纜長度下都能保持穩定
在任何負載下均具有出色的脈沖形狀
與大多數生產設備兼容
citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 技術參數
訂貨號 64001035
系列cito Plus
頻率13.56 MHz
射頻功率600 瓦
脈沖是的
前面板積極
現場總線沒有
模擬接口25 針
匹配網絡接口AGS 系列
交流輸入187 至 265 VAC
冷卻空氣
射頻輸出連接器N 型
COMET射頻發生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP