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直線電機平臺選型：
LMA38-10-1□□□-A
反饋系統
G01：光柵反饋，分辨率0.1μm
G05：光柵反饋，分辨率0.5μm
平臺外形及安裝尺寸
LMA38-10-1□□□-A
反饋系統
G01：光柵反饋，分辨率0.1μm
G05：光柵反饋，分辨率0.5μm
平臺外形及安裝尺寸
平臺采用敞開式結構，方便拆裝維護
內置光柵或磁柵反饋系統，分辨率可選O.lµm, 0.5µm, lµm, 5µm 采用動磁式平板直線電機
重復精度達到土l µm
體積小，結構簡單，適應于輕負載高精度的場合
可任意架構成XY十字平臺
內置光柵或磁柵反饋系統，分辨率可選O.lµm, 0.5µm, lµm, 5µm 采用動磁式平板直線電機
重復精度達到土l µm
體積小，結構簡單，適應于輕負載高精度的場合
可任意架構成XY十字平臺
| 電機參數 | ||
| 單位 | 數值 | |
| 連續推力（在溫度Tmax下） | N | 0.6 |
| 峰值推力 | N | 3 |
| 電機常數 | N√W | 0.5 |
| 持續損耗功率 | W | 1.42 |
| 連續電流（在溫度Tmax下） | Arms | 0.15 |
| 峰值電流（持續時間1S） | Arms | 0.8 |
| 推力常數（25℃，±5%） | N/Arms | 4 |
| 反電勢常數（25℃，±5%） | Vrms/m/s | 1.3 |
| 電阻（25℃，±5%）p-p | Ω | 30 |
| 電感（25℃，±5%）p-p | µm | 0.25 |
| 線圈允許溫度 | ℃ | 120 |
| 極距（N-N）（360°電氣周期） | mm | 24 |
| 電磁吸力 | N | 11 |
| 平臺參數 | ||
|---|---|---|
| 單位 | 數值 | |
| 負載 | kg | 1 |
| 有效行程 | mm | 10 |
| 分辨率 | µm | 0.1 |
| 速度（1） | mm/s | 200 |
| 重復精度 | µm | ±0.5 |
| 平臺重量 | kg | 0.1 |
| 工作環境溫度、濕度 | 0-40℃、20-80%RH | |
| 注（1）：根據實際的負載質量，會存在達不到速度的情況，具體速度可與工程師溝通 | ||
